Junior小型等离子表面处理设备

产品介绍：

反应舱：     材料：铝
    有效尺寸：直径230 x 深度250mm
    容积：10.4升
    舱门：装有可视窗口
    托盘：订制 真空度测量：
    皮拉尼真空计（利用电阻丝随温度的变化而电阻随之变化的原理来测量的，而电阻丝温度的变化又与其周围气体的热导率有关） 真空泵：
   二级旋片式真空泵；3m³ 每小时。 频射发生器：
    0~600w可调，2.45GHZ发生器 控制系统：
    触摸屏操作，PLC控制系统
    PLC可实现下列功能：
         1、自动控制反应过程；
       2、根据处理材料设定不同的处理工艺流程；
       3、测定真空泵压力、抽真空时间、充气速度、工作压力、处理时间、温度、频射发生器输入电压等指标；
       4、监测所有的运行指标，保证在设定范围之内；
       5、 设定操作、维护密码。 电源：
     220V AC、50Hz、16A. 反应气体：
    一个气体输入端口，含气体流量控制器（MFC）；根据用户需要，可扩展 气体输入：
    直径1/4英寸（0.645厘米）管道；输入压力：1Bar.  安全性能：
    急停开关；真空泵保护锁；高温保护锁；CE安全认证。

 用途：

小型物件的活化、清洗、蚀刻等。

 

可选件：

 

频射发生器：100KHZ, 13.56MHZ ，可订制 可加装15m³每小时的真空泵 根据需要，可订制多个气体输入管道 根据客户工艺要求制作的软件程序 根据客户要求制作的托盘。 石英反应舱   N₂ Purge.