一、主要用途该产品主要用于硅圆片、掩膜板、太阳能电池等其它类似材料的高洁净度冲洗甩干。具有单腔、双腔两种结构(也可按用户要求配置) 二、主要技术特点 1.采用高性能的可编程控制器实现逻辑控制。 2.采用彩色液晶汉显监控,可存储十种用户工艺菜单。 3.结构采用净化处理技术。 4.去离子水电阻率监控。 5.防静电控制。 6.氮气温度控制。 7.腔体温度控制。 8.转轴氮气密封。 9.可选无刷电机驱动。 10.旋转载体定位。 11.故障自动诊断,显示及报警系统。 12.可按用户特殊要求配制。
公司联系方式
- 华林伟业(北京)太阳能光伏事业部 [加为商友]
- 联系人王丹丹(女士) 市场销售
- 地区北京
- 地址通州区宋庄小堡工业区华林街