本设备为浸泡式清洗机,用于扩散、
外延等设备的石英管,碳化硅管的清洗
⑴ 整台设备采用德国磁白色聚丙板
(PP)搭配德国焊接设备焊接而成。
⑵ 设备分为两个清洗槽,内槽为酸
洗槽,外槽为水洗槽,内外槽均装在隔离槽内,与底部和周围隔离。
⑶ 隔离槽底部倾斜式,最低处设有排水管,隔离槽后设有排气装置。
⑷清洗槽左右两端设有美国进口纯水喷枪和氮气喷枪。
外延等设备的石英管,碳化硅管的清洗
⑴ 整台设备采用德国磁白色聚丙板
(PP)搭配德国焊接设备焊接而成。
⑵ 设备分为两个清洗槽,内槽为酸
洗槽,外槽为水洗槽,内外槽均装在隔离槽内,与底部和周围隔离。
⑶ 隔离槽底部倾斜式,最低处设有排水管,隔离槽后设有排气装置。
⑷清洗槽左右两端设有美国进口纯水喷枪和氮气喷枪。
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