无接厚度电阻率测试仪器

产品简介

NCS-R80无接触厚度电阻率测试仪是一款用于硅片的厚度、电阻率测量的专业仪器，该仪器适用于Si，GaAs，InP，Ge等几乎所有的材料，所有的设计都符合ASTM(美国材料实验协会)和Semi标准，确保与其他工艺仪器的兼容与统一。

特征

■无接触无损伤测量

■电阻率和厚度同时测量

■适用的晶圆材料包括Si，GaAs，InP，Ge等几乎所有的材料

■电脑触摸屏显示

■抗干扰强，稳定性好

■强大的工控机控制和大屏幕显示

■一体化设计操作更方便，系统稳定

■为晶圆硅片关键生产工艺提供精确的无接触测量

技术指标

■测试尺寸：50mm- 300mm.

■厚度测试范围：1000 um，可扩展到1700 um

■厚度测试精度：+/-0.25um
■厚度重复性精度：0.050um

■TTV测试精度: +/-0.05um
■TTV重复性精度: 0.050um

■电阻率测试范围：0.1ohm.cm——50 ohm.cm
■电阻率测试精度：+/- 2%

■电阻率测量重复精度：+/- 1%

■晶圆硅片导电型号：P 或 N型

■材料：Si，GaAs，InP，Ge等几乎所有半导体材料

■可用在：切片后、磨片前、后，蚀刻，抛光以及出厂、入厂质量检测等

■平面/缺口：所有的半导体标准平面或缺口

■硅片安装：裸片，蓝宝石/石英基底，黏胶带

■连续5点测量

应用范围

>切片

>>线锯设置

>>>厚度

>>>总厚度变化TTV

>>>电阻率

>>监测

>>>导线槽

>>>刀片更换

>磨片/刻蚀和抛光

>>过程监控

>>厚度

>>总厚度变化TTV

>>材料去除率

>研磨

>>材料去除率

>最终检测

>>抽检或全检

>>终检厚度

>>终检电阻率

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