平坦度及表面形态测试仪

产品介绍:

Tropel®FM200®为精密部件的制造商提供了业界领先的表面形态测量。通过非接触式光学测量技术记录下整个表面的数据。FM200能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型和其他表面参数进行测量。

产品特点：

■无接触和无损伤测量

■适用多种类型材料：半导体，金属，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料

■适用多种类型晶片：硅/蓝宝石/碳化硅/砷化镓/石英/锗/铌酸锂

■适用多种类型表面：研磨表面，抛光面，超光滑面

■测量多种不同指标：

厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/压力/翘曲度/弯曲度/平坦度/平面度/线轮廓/表面轮廓

■完整的分析系统：

三维/拓扑/合格率/分布/二维环形和半径切面/平面/球面/锥形匹配/局部平面度分析/斜度

■可以实现自动、快速、准确、稳定的测量

■超过15年的工业应用，全球几百台的装机量

技术参数：

■精确度：50nm（2.0μ″）

■重复性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）

■分辨率：5nm（0.2μ″）

■可测量工件尺寸：25mm-200mm

■动态测量范围：>100um

■测量数据点：230,000 / measurement

■测量时间：5秒

■电源：～220V 50Hz

典型客户:

国外：Honeywell Electronic Materials，SEI，Showa Denko，SESMI，Saint Gobain，Nikko Materials，Hitachi Cable，Freiberger Compound Materials，Crystal Tech，Samsung，LG，Crystalwise，Wafer Works……

国内：塞维，重庆四联，中电46所，山东大学，大连理工大学，中国科学院半导体所，中国科学院物理所，中科晶电，中科镓英，云南蓝晶，青岛嘉星晶电，天科合达，大庆佳昌……