立式半导体外延石英炉管钟罩清洗机
该设备广泛适用于各种尺寸外延石英炉管钟罩的清洗腐蚀。整体采用德国进口优质NPP 材质板材组合焊接而成,操作方式为全自动。工艺过程为:上料槽1→清洗液1浸泡→清洗石英管内外表面→上料槽2→清洗液2浸泡→清洗石英管内外表面→下料, 各槽体均采用德国进口聚丙烯(NPP)板,骨架采用优质不锈材料制作,上水管件采用PVDF材质,德国进口聚偏二氟乙烯作下水材质:德国PP 板作柜体窗板:德国进口透明聚氯乙烯(PVC)或德国进口聚丙烯(PP)作柜体材质。设备前面带有透明门窗, 槽下设有接漏盘,漏盘装有漏液报警装置。 槽盖密封采用U型结构,以保证其密封效果良好。 酸槽1、2槽中间设有DI水清洗槽,有冷热DI水上给水,便于配酸和冲洗槽体,石英管,给水龙头可旋转。 槽1酸液排放为虹吸上排式,槽2酸液排放为自排式。 此外,机台配有排风装置。另配美国进口水枪、氮气喷枪各一支和内置照明装置,结构合理,外型美观。设备技术先进,科技含量高,各种配置匀为国内首创,用于微电子半导体行业,也适合于高校化学实验室作实验湿台、腐蚀台。非标规格,具体规格依客户工艺确定。
公司联系方式
- 北京华林嘉业科技有限公司 [加为商友]
- 联系人耿彪(先生) 总经理
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