韩国LINE TECH气体质量流量控制器M3500V/A

Model

M3500V

M3500A

 流量范围(N2)

  300slpm ~ 1000slpm

  300slpm ~ 1000slpm

  响应时间

  <2 sec

  <2 sec

  精准度

  ≤±1% FS

  ≤±1% FS

 重复精度

  ±0.25% FS

  ±0.25% FS

  输入/输出信号

  0~5 Vdc

  0~5 VdcＯr4~20 mA

  供电电源

  ±15 VdcＯr24 Vdc, 350mA

  ±15 VdcＯr24 Vdc, 350mA

  耐压

  <15 bar

  <15 bar

  工作环境温度

  0~50 °C

  0~50 °C

漏率

  1*10E-9 atm cc/sec

  1*10E-9 atm cc/sec

使用范围

  2 ~ 100% for

  2 ~ 100%