韩国LINE TECH气体质量流量控制器M3030V/A

Model

M3030V

M3030A

  流量范围(N2)

  10sccm ~ 30000sccm

  5sccm ~ 30000sccm

相应时间

  ≤2 sec

  ≤2 sec

精准度

  ≤±1% FS

  ≤±1% FS

重复精度

  ≤±0.25% FS

  ≤±0.25% FS

 输入/输出信号

  0~5 Vdc

  0~5 VdcＯr4~20 mA

供电电源

  ±15 VdcＯr24 Vdc, 350mA

  ±15 VdcＯr24 Vdc, 350mA

  耐压

  ≤90 bar

  ≤90 bar

  工作环境温度

  0~50 °C

  0~50 °C

漏率

  1*10E-9 atm cc/sec

  1*10E-9 atm cc/sec

 使用范围

  2 ~ 100%

2 ~ 100%