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标称尺寸外径 3mm 的微型压力传感器 CYG503 是专为空气动力学研究试验中，要求安装
尺寸小，不扰动流场，动态响应优良动态压力分布测量而设计的。应用于如发动机进气道压
力畸变、喘振等的空气动力学性能测定, 敏感元件的固有频率＞200kHz。
CYG503 的压力敏感元件采用当代最先进的 MEMS（Miro Electronic Machinical
Systems）技术设计与制造。三维集成、双面加工的硅压阻压力敏感元件具有优秀的线性精
度、离子注入、精细光刻技术制作的惠斯顿应变电桥的高度一致性使其具有很小的温度漂移、
体微机械加工，精密各向异性腐蚀形成的硅薄膜力敏结构使其具有很高的压力灵敏度和小至
1.5mm 以下的径向尺度。先进的微型化的压力敏感芯片采用无应力封装技术，密封封装在特
制的微型安装基座和不锈钢毛细管中。绝压型传感器参考压力腔是芯片背面密封的真空腔，
表压型传感器的参考压力腔是通过一根更细的不锈钢毛细管从背面引出与大气沟通。也为了
方便用户为取得稳定的压力参考而用细尼龙管将它引至气压稳定处。
CYG503A 绝压型微型压力传感器为探针形，标准外径为Ф3.5mm(最小外径可定制Ф
3mm)，长度为 18mm，特制的短柱形 CYG503AS 将长度缩短为 12mm。绝压型压力传感器的可选
量程为 50、100、160、250、400、600、1000、1600、2500、3500KPa 绝对压力。
CYG503GX 表压型微型压力传感器为探针形、标准外径为Ф3.5mm，长度为 18mm，背压
引出毛细管长为 5mm。表压型压力传感器的可选量程为 25、50、100、150、200、400、700、
1000、2000、3000KPa 表压力。
CYG503G 表压型微型压力传感器为探针形、标准外径为Ф3mm，长度为 18mm，背压引
出毛细管长为 5mm。表压型压力传感器的可选量程为 100、200、400、700、1000、2000、3000KPa
表压力。
CYG503 的设计制作专利已获得国家发明专利授权、专利号为：200410103083.3。
CYG503 微型螺栓安装型压力传感器是为方便一些用户使用要求的 CYG503 的衍生品种，
绝压、表压均可。它的外形尺寸见附图。
CYG503 型传感器由于用敏感元件正面承压，因此，它仅适用于介质为无腐蚀性，不导
电性的干燥气体。但它有相当宽的工作温区和非常好的动态频响。可使用的动态频响低至零
频、高至数十千赫兹。表面增加涂复保护可改善介质适用能力，但以牺牲频响特性为代价。 公司联系方式
- 北京创天航空机电设备有限公司 [加为商友]
- 联系人潘俊岩(先生)
- 地区北京
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