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CYG502 型超微型压力传感器(绝压)
标称尺寸外径 2mm 的超微型压力传感器 CYG502 是专为流体力学实验中要求更小安装尺
寸的用途而设计的。是目前我公司推出产品中尺寸最小的压力传感器。
CYG502 的压力敏感元件采用当代最先进的 MEMS（Miro Electronic Machinical Systems）
技术设计与制造。三维集成、双面加工的硅压阻压力敏感元件具有优秀的线性精度。离子注
入、精细光刻技术制作的惠斯顿应变电桥的高度一致性使其具有很小的温度漂移。采用硅硅
直接键合技术、倒 V 型槽设计、从而实现了可利用芯片薄膜尺寸的最佳化，为超微型传感器
的实现取得关键突破。
使用了硅–硅键合技术，改善了热匹配效果，减少了应力带来的零位不稳定性。
目前已面市品种有绝压型测量模式产品，表压型正在研制中。
CYG502A 绝压型超微型压力传感器为探针形，标准外径为Ф2.1mm、Ф2.6mm，传感器的
可选量程为 50、100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000kPa 绝对压力。
CYG502A 绝压传感器用敏感元件正面承压。因此，它仅适用于介质为无腐蚀性，不导电
性的干燥气体。它有着相当宽的工作温区，可达-55℃～+125℃，也有着非常优秀的高频动
态特性，其最低量程的敏感元件的固有频率＞200kHz，上升时间为亚微秒。
公司联系方式
- 北京创天航空机电设备有限公司 [加为商友]
- 联系人潘俊岩(先生)
- 地区北京
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