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供应扩展电阻测试仪

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公司: 北京羲和阳光科技发展有限公司 
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有效期至: 长期有效
最后更新: 2012-08-28
相关信息
 
产品详细说明
测量范围:0 MΩ

扩展电阻测试仪
型号:进口
扩展电阻法是利用特殊的点接触金属探针,沿着样品的表面 ,以微小的步进测出半导体材料或器件表面的每一点的扩展电阻值,由此得到电阻、电阻率和载流子浓度(掺杂杂质浓度)及其分布的一种测量技术。
本仪器适用于检测P型和N型硅单晶微电阻率均匀性,检测扩散层的微区电阻率变化也可用于硼磷扩散工艺的监控,同时该仪器还可以测量锑化铟、砷化镓浓度的相对变化量 。

应用实例
■ 硅晶体电阻率微观均匀性的测量
■ 硅晶体中氧浓度及其分布的测量
■ 硅晶体离子注入层的测量
■ 硅外延层厚度和载流子浓度的测试
■ 硅pn结和器件结构的测试
■ 硅晶体中杂质扩散特性的测试
■ 硅晶体离子注入层的测量

公司联系方式
  • 北京羲和阳光科技发展有限公司 [加为商友]
  • 联系人包经理(女士) 销售部总监 
  • 地区北京
  • 地址北京市大兴区西红门路26号明珠商务7A-306
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