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| 品牌： | 美国海洋光学 | 型号： | PlasCalc | 光源： | 紫外可见近红外 |
| 波长范围： | 200-1100 nm（nm） | 焦距： | 20（mm） | 外形尺寸： | 257 mm x 152 mm x 263 mm（mm） |
| 重量： | 5kg（g） | 适用范围： | 实现200nm-1100nm波段内的等离子体测量 |
| OceanOptics光纤光谱仪>>其它>>等离子体监测控制仪PlasCalc |  | |||||||||||||||||||||
PlasCalc等离子体监测控制仪，实现200nm-1100nm波段内的等离子体测量，通过高级过程控制系统及精密数据存取算法，只需3m就可以获得测量结果。 特点 Recipe编辑器 Recipe编辑器有助于简单快捷的配置、构建及存储实验方法。对一些困难的等离子体工序诸如膜沉积测量、等离子体蚀刻监测、表面洁度监测、等离子体室控制及异常污染、排放监测等，能够快速简单的构建模块过程控制。 多种工具用于等离子体诊断 随PlasCalc配置的操作软件，集成的程式编辑器能够容易实现多种数学算法功能。可选的波长发生器（可以单独购买）用于类型确认，而波长编辑器可以用于优化信噪比。双窗口界面用于显示实际光谱及所有过程控制信息。 PlasCalc配置说明
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