SpecEl-2000-VIS椭偏仪通过测量基底反射的偏振光-美国海洋光学

SpecEl-2000-VIS椭偏仪通过测量基底反射的偏振光，进而测量薄膜厚度及材料不同波长处的折射率。SpecEl通过PC控制来实现折射率，吸光率及膜厚的测量。

SpecEI软件截图显示的Psi及Delta值可以用来计算厚度，折射率及吸光率。

波长范围:

380-780 nm (标准)或450-900 nm (可选)

光学分辨率:

4.0 nm FWHM

测量精度:

厚度0.1 nm ;折射率0.005%

入射角:

70°

膜厚:

单透明膜1-5000 nm

光点尺寸:

2 mmx 4 mm (标准)或200 µm x 400 µm (可选)

采样时间:

3-15s (最小)

动态记录:

3 seconds

机械公差(height):

+/- 1.5 mm,角度+/- 1.0°

膜层数:

至多32层

参考:

不用