HORIBAMETRON气体质量流量计，S4931热式流量计

特点及主要应用领域

质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。质量流量计（Mass Flow Meter缩写为MFM）,用于对气体的质量流量进行精密测量。

S49 31 质量流量控制器和质量流量计特点：

☆主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。

☆耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽，气体流量不因温度、压力的变化而变化。

☆具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定可靠。

☆可任意位置安装。电气操作控制显示，使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。

☆配合MT-60 系列流量积算仪，可对气体的瞬时流量和累积流量进行精确计量。

S49 31 质量流量控制器和质量流量计主要应用领域：

半导体制造行业的气体流量控制；

分析仪器设备的气体计量与控制；

各种形式的真空镀膜设备；

环境检测与分析设备；

化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业气体流量检测和控制；

特种材料表面处理装置与燃烧控制；

混气配气系统和泄露探测系统等。

2、S49系列质量流量控制器和质量流量计型号

S49 31 系列质量流量控制器，S49为质量流量控制器和质量流量计产品，31/MT为本公司此产品设计序列号。

其中：S49 31/MT 系列为质量流量控制器。

S49 31A/MT 系列为质量流量计。

质量流量计用于气体质量流量精确测量计量；质量流量控制器不但具有质量流量计的测量计量功能，还具有自动控制气体流量的功能。

执行Q/CYHMT001-2011企业标准

3、 主要技术指标

质量流量计和质量流量控制器流量出厂通常用氮气(N2)标定。

质量流量单位为：标准状态mL/min （毫升/分钟）   （SCCM行业标准）；

                标准状态L/min   （升/分钟）（SLM行业标准）。

标准状态为：温度----0℃；

            气压----101325Pa

F.S(Full Scale):表示满量程值

表1 S49 31/MT流量控制器、S49 31A/MT流量计技术指标