S48 300热式气体流量计，堀场汇博隆气体质量流量计厂家

本产品为热式质量流量控制器，利用气流流过毛细管，改变毛细管温度分布，造成上下游温差方法，而测得气体质量流量。不同于容积式流量计，其流量精度不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量，所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。

1.1 使用范围

质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制。

1.2 质量流量控制器和质量流量计

 质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC)，具备流量测量和流量控制两种功能。

质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为MFM)，只有流量测量功能，不具备气流控制功能。

1.3 S48 300/HMT质量流量控制器的特点

☆ S48 300/HMT型质量流量控制器是在引进HORIBA STEC技术基础上，结合国内需要而研制的一种数字式质量流量控制器产品，采用当今先进的32位ARM系列处理器做数字控制。具有流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小等特点。

☆ RS232/485串口， Modbus（RTU）开放协议。协议简单可靠，兼容性强，易于组网。配合上位机，可进行各种复杂的计量、控制操作及组态。

☆耐压高及适用于真空条件下工作。气体流量不因温度、压力的变化而变化。气阻较小，工作压力范围宽。 

☆主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用PTFE、氟橡胶等。耐腐蚀性强。

☆可任意角度安装。

☆兼容数字和模拟控制及显示，使用方便。易于与电气或自动控制系统配合。

配合MT-50或51系列流量显示仪，可对气流的瞬时流量进行精确测量和计量。

S48 300/HMT数字流量控制器技术指标