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德国Heidenhain海德汉敞开式增量直线光栅尺@Heidenhain光栅尺LIDA 400
德国Heidenhain海德汉敞开式增量直线光栅尺LIDA 400,用于高速运动和大测量范围 应用 半导体工业生产和检测设备 PCB电路板组装机 测量机特点 运动速度快 测量长度大 安装公差"。
LIDA敞开式直线光栅尺特别适用于运动速度达10 m/s的高速运动应用，支持多种安装方式，安装简单。根据相应应用要求，METALLUR光栅的基体可为钢带，玻璃或玻璃陶瓷。也可有限位开关。
敞开式增量直线光栅尺LIDA 用于高速运动和大测量范围
应用
• 半导体工业生产和检测设备
• PCB电路板组装机
• 测量机
特点
• 运动速度快
• 测量长度大
• 安装公差大
• 限位开关
• 多种型号可供选择
技术参数
• 钢带，玻璃或玻璃陶瓷基体的METALLUR光栅
• 信号周期 20 µm
• 测量步距 至0.05 µm
• 精度等级 至± 5 µm
• 典型位置误差
单信号周期内 ± 0.2 µm
• 测量长度 至30 m
• 接口 1 VPP或TTL
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德国Heidenhain海德汉敞开式增量直线光栅尺@Heidenhain光栅尺LIDA 400
| Measuring procedures | LIDA 473--敞开式直线光栅尺 |
| 测量标准 | -- |
| 热膨胀系数 | 玻璃： αtherm ≈ 8 x 10-6K-1 Robox玻璃陶瓷： αtherm ≈ 0 x 10-6K-1 Zerodur玻璃陶瓷： αtherm ≈ (0 ± 0.1) x 10-6K-1 |
| 精度等级 | ± 5 µm |
| 测量长度（ML），mm | |
| 参考点 | 1个在测量长度的中点位置处 |
| 增量信号 | TTL |
| 栅距 | 20 µm |
| 插补 | 50倍 |
| 信号周期 | 0.4 µm |
| 扫描频率 | ≤ 25 kHz |
| 边缘间距 a | ≥ 0,175 µs |
| 最高运动速度 | 30 m/min |
| 限位开关 | L1/L2带两个不同磁铁；输出信号： TTL |
| 电源 | 5 V ± 5% |
| 电流消耗（无负载） | |
| 电气连接 |
3 m电缆，带D-sub接头（15针） 接口电子设备内置在接头中 |
| 最大电缆长度 | 20 m |
| 振动 55至2000 Hz | ≤ 200 m/s² (IEC 60068-2-6) |
| 冲击（11 ms） | ≤ 500 m/s² (IEC 60068-2-27) |
| 工作温度 | 0至 50 °C |
| 重量 | 扫描头：20 g（无连接电缆）接口电子设备： 140 g 光栅尺：约+0.1 g/mm测量长度编码器电缆： 22 g/m |
德国Heidenhain海德汉敞开式增量直线光栅尺@Heidenhain光栅尺LIDA 400
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