AE 质量流量控制器

优势

特点

快速响应——设置点之间的流量沉淀时间不到2秒

无与伦比的可靠性——一年零漂移不到满标度流量的0.5%

易于整合——标准连接器和尺寸

出色的效果——优质薄膜特性

弹性密封

VCR^® , VCO^®, 及 Swagelok^® 共容的连接

满标度流量范围为10 sccm - 200 slm

常关或常开的电磁控制阀

最大的净化模式流量——校准后最多100次

泄漏率为1x10^-6 atm-cc/sec of He

性价比高

FC-7700系列产品专为那些要求顶极性能，但不要求具有耐腐蚀性或超高漏率要求的应用而定制，不仅性价比好，而且控制精度非常高。

响应速度快

FC-7700系列产品采用最新技术设计，工作性能远远优于同类质量流量控制器MFC.其先进之处包括：采用了一种敏感性强、响应速度快的小直径传感器。另外，与采用低速热敏阀的同类产品相比，FC-7700系列产品采用常开或常闭式电磁阀，具有较快的响应速度。提高响应速度之后，避免了出现过冲，达到设定点的时间不到2秒--在所有带标准电磁阀的质量流量控制器产品中是最快的。

无与伦比的可靠性

由高质量的电子组件和采用耐用、最少元器件的设计理念，这使它可以经受强射频场的干扰，满足其它运转要求，并具有同类产品中最佳的零点漂移稳定性--使用超过一年，零点漂移不到满量程的0.5%。在投入使用的25，000件以上产品中，仅有不到0.5%的产品在出货一年内返修。

易于集成

替换其它品牌，即可轻松获得Area质量流量控制器所具有的性能和可靠性方面的优势，且不会遇到安装方面的麻烦。特定型号的产品带有标准电气接头并具有临界尺寸，可轻松装入现有的系统。

出从的效果

FC-7700系列质量流量控制器带给您的不仅仅是薄膜和刻蚀工艺的一致性，同时还有高度的可重复性。