IMAGO三维原子探针

三维原子探针 技术又称断层分析术（APT），能够在原子级别上分析材料的三维立体结构和成分，给出材料的三维原子排布和元素组成，是当今世界最为先进的原子级分析技术。APT的应用范围覆盖了金属材料、半导体和陶瓷材料等领域， 与TEM、SIMS并称为材料分析三大工具。

IMAGO公司出品的LEAP系列三维原子探针设备是三维原子探针技术的成熟设备，目前已为世界范围内材料专家所普遍接受，用户遍及美国、日本、澳大利亚、欧洲等国家的主要研究部门和企业。

LEAP三维原子探针设备尤其适合分析一般设备所不能达到的区域，比如分析金属合金的晶界、QP区，分析半导体器件的内界面（Analysis of Device Interfaces with LEAP），半导体材料的掺杂分布等。

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