Filmetrics薄膜厚度测量仪 F60-t

薄膜测量领域的#1品牌

F60-t系列 用于实际生产用的自动薄膜厚度Mapping工具

F60-t系列不但继承了F50的薄膜厚度Mapping和参数测量功能，而且为了批量化生产的需要而为此专门开发了一系列的新功能和新配置，其中包括有:自动刻痕寻找功能、自动基准功能、运动互锁测量台、工业用电脑以及可选配升级为自动晶圆处理机械手。

F60系列配有多种波长的产品以满足不同客户的需求，具体规格如下：

Model	Thickness Range	*Wavelength Range
F60-t	15nm - 70µm	380-1050nm
F60-t-UV	1nm - 70µm	200-1100nm
F60-t-NIR	100nm - 250µm	950-1700nm
F60-t-EXR	15nm - 250µm	380-1700nm
F60-t-UVX	1nm - 250µm	200-1700nm
F60-t-XT	10µm - 1mm	1590-1650nm

*以上数值会因薄膜堆叠层数变化而有所不同。

零配件清单如下：

• 光谱仪主机
• 4", 6" and 200mm参考片
  
• TS-Si02-4-7200厚度标准片
• 真空泵
• TH-1备有光源灯泡
• 镊子优势及售后服务：
  • 拥有130多种材料的数据库
  • 免费软件更新
  • 工作日应用工程师24小时的技术支持
  • 在线“手把手”支持
  • 支持硬件升级

    常规选配件：

    • NIST（美国国家标准技术研究所）可追溯厚度标准片
    • F60夹盘-200mm, and 300mm

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      公司联系方式

      • 东莞市岱美工业仪器服务有限公司 [加为商友]
        
      • 联系人唐春萍(女士) 业务经理 
      • 地区广东-东莞市
      • 地址中国 广东 东莞市 南城区鸿福路200号第一国际C座709
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