MTPD-150A-10G(非补偿压力传感器裸片)主要应用于胎压计等
MTPD150系列压阻型压力传感器裸片是在100级洁净室中利用1.2微米CMOS工艺在6英寸的硅片上加工,后在1000级洁净室里应用微机械技术完成。批量的硅晶片利用电气化学蚀刻过程以使MTPD150达到卓越的重复性。裸片通过电性能检测、上墨、切割以及目检后,以卷带或整个圆形硅片包装。裸片可以安装在陶瓷或PCB等材质,或其它特殊封装。以在非腐蚀性环境中压力检测的应用。
采用1.2微米加工工艺,压阻型,良好的重复性,绝压型0~150psiA
主要参数如下:
Operating Pressure Range:0~150psiA
Over Pressure:0~750psiA
Zero Pressure Offset Voltage (before bonding):±15mV
Non-linearity:±0.5%FS
Bridge Resistance:4500~5500Ω
Sensitivity:0.1/0.2/0.3 (Min/Typ/Max) mV/V/psi
Full Scale Span:100/150/200 (Min/Typ/Max) mV
Temperature coefficient of offset, TCO:
-70/-2.5/+65 (Min/Typ/Max) ?V/V /°C
Temperature coefficient of sensitivity, TCS:
16/23/29 (Min/Typ/Max) %FS/100°C
Temperature coefficient of resistance, TCR:
-13/-25/-37 (Min/Typ/Max) %FS/100°C
应用:
汽车轮胎压力监测、胎压计
工业设备等
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