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◆ 加热式真空电容隔膜表压传感器 ◆ 气体与Inconel® 兼容 ◆ 加热式真空电容隔膜表压传感器 ◆ 与Inconel 和Monel 兼容的气体 ◆ 压力范围50mTorr到1000Torr ◆ 避免气体冷凝和污染 ◆ 配备Inconel® 防腐用润湿部件 ◆ 具有各种接头和电气连接 ◆ 45℃、100℃或123℃加热传感器任选
●等离子沉积 ●干式蚀刻 ●溅射/PVD/RTP ●工业CVD ● LPCVD ●晶体生长/ 冷冻干燥机
Setra 的加热700 系列是一款高度精准的真空压力变送器,其配备一个积分加热传感器,在临界应用中可防止传感器上的气体冷凝和污染。加热700 系列拥有以下型号:764 型(温控至45℃)、769 型(温控至100℃)以及774 型(温控至123℃)。所有三个型号在1 Torr 到1000 Torr(全量程)的压力范围内的读数精确度达到±0.15%,全量程分辨率优于0.005%。764 型具有50 和100mTorr 的全量程,而769 型具有100 mTorr 的全量程。
加热700 系列的工作电压为±15 VDC 起,VDC 信号输出为0-10,此输出与压力成线性,与气体构成无关。同时,提供用于电气终端的15 针D 连接器以及一系列精选的压力和真空接头。防腐的Inconel® 适用于所有润湿材料,这使得加热700 系列几乎对防腐媒介不敏感。