产品品牌:hlplanar
产品型号:TCS208F
TCS208F气体热导传感器德国HL P公司TCS208F气体热导传感器,采用先进的MEMS加工技术生产,利用被测组份和参考气体的热导系数不同而响应的浓度型传感器。产品具有检测范围大、可靠性高、安装方便、维护简单等优点。 TCS208F气体热导传感器可广泛应用于天然气,CH4、H2,CO2,CO,SF6,Xe,He,NH3等气体成份检测,也可用于测量非常小的气体容积变化。 ■ 特点 ■ 应用 测量精度高 天然气的成份和来源分析灵敏度高 垃圾填埋,沼气池中CO2和 CH4含量集成温度补偿,漂移小 空气混合物中的He或Xe含量体积小,响应速度快 发电厂氢冷电机组循环气中H2含量可以测量微小的气体容量 工业窑炉、锅炉的废气中CO2含量 高性价比 化肥厂合成NH3与补充气比例TO8封装,抗冲击能力强 ■ 性能参数(参考温度25℃)
参 数 | 最小值 | 典型值 | 最大值 | 单位 |
阻值Rm1,Rm2 | 92 | 100 | 115 | Ω |
阻值 Rt1,Rt2 | 220 | 240 | 275 | Ω |
比值Rtx / (Rm1+Rm2) | x ε {1,2} | 1.13 | 1.2 | 1.27 | |
阻值差 Rm1 - Rm2 | -2.00 | | +2.00 | Ω |
温度系数(Rm, Rt) |20°C–100°C | 4800 | 5500 | 5900 | ppm/K |
膜热时间常数(τm) | | <5 | | ms |
气体交换时间常数 | | <100 | | ms |
漂移| x ε {m,t} ; y ε {1,2} | | 0.001 | 0.01 | %week |
扩散室空间 | | 0.2 | | mm3 |
安装空间 | | 100 | | mm3 |
■ 额定参数
参数 | 最小值 | 典型值 | 最大值 | 单位 |
加热功率P(Rm1 + Rm2) | | | 30 | mW |
膜片温度Tm | | | 180 | ℃ |
环境温度ϑ | -20 | | +85 | ℃ |
■ 最佳工作参数
参数 | 最小值 | 典型值 | 最大值 | 单位 |
加热功率P (Rm1 + Rm2) | | | 5 | mW |
膜片温度变化 ΔT = Tm -ϑ | 30 | 50 | 70 | ℃ |
测量介质 | 与Si,SiOxNy,Gold,Epoxy兼容气体 |
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