| 是否提供加工定制: | 否 | 品牌: | ALPS | 型号: | HSPPARC001 |
| 种类: | 压力 | 材料: | 陶瓷 | 材料物理性质: | 半导体 |
| 制作工艺: | 薄膜 | 输出信号: | 数字型 | 防护等级: | . |
| 线性度: | .(%F.S.) | 迟滞: | .(%F.S.) | 重复性: | .(%F.S.) |
| 灵敏度: | -4 ~ 4%FS | 漂移: | . | 分辨率: | . |
ALPS公司开发了用于检测气压或者高度的《HSPP系列》压敏电阻式MEMS压力传感器(绝对压检测用),该产品为目前世界上最小的压力传感器.
压力传感器不仅活跃在汽车、医疗、产业设备等领域,而且在洗衣机等消费电子产品领域上也得到广泛应用,其应用范围正在不断扩大。如今,整机厂家正在研究在PND(便携式导航装置,Portable Navigation Device)及计步器上附加高度检测功能,这种小型便携式设备就需要搭载更小、更薄的压力传感器。
作为压敏电阻式绝对压检测用压力传感器,本产品为世界上最小的产品,该产品通过采用我公司多年积累下来的薄膜处理技术、微细加工技术及封装技术,实现了小型、低矮化。单个元件的小型型号(HSPPAR)实现了长2.5mm x 进深2.5mm x 高0.7mm的尺寸,内置功率放大器的混合型(HSPPAA)实现了长3.5mm x 进深3.5mm x 高1.0mm的尺寸。
产品的上述两种型号,有助于提高整机产品的设计自由度。而且,两种型号的产品都适合表面贴装。
本产品进行压力检测时采取将电阻变化作为电压信号来读出的方式,来自外部的压力使薄膜弯曲并使形成于薄膜上的压敏电阻元件变形,该变形产生用于检测的上述电阻变化。这种方式将薄膜的弯曲量直接当作压敏电阻元件的电阻变化来捕获,因此可形成简单的元件结构,而适合小型化。另外还通过我公司独有的微细加工技术加工出极小的传感元件,实现了产品的薄小型化。
还有,采取通过优化蚀刻条件形成稳定的空腔※2、抑制了外应力影响的Si-Si密封接合※3、采用不受温度变化影响的陶瓷材料等等措施,使产品性能加以稳定。
【主要特长】●开发了世界上最小的压敏电阻式(绝对压检测用)压力传感器。
- 通过使用压敏电阻元件,实现了薄小型化。推出了单个元件的小型型号和搭载功率放大器的高输出型号。通过封装的优化,实现了稳定的性能。
手机、PND、手表、计步器等
【主要规格】| 产品名称 | HSPP系列 | |
| 型号 | HSPPAR (小型(单个元件)) | HSPPAA (混合型(搭载功率放大器)) |
| 外形尺寸 (W x D x H) | 2.5mm x 2.5mm x 0.7mm | 3.5mm x 3.5mm x 1.0mm |
| 压力检测范围 | 50 ~ 110kPa | 50 ~ 110kPa |
| 使用温度范围 | -20 ~ 85°C | -20 ~ 85°C |
| 电源 | 恒流驱动 0.55mA | 恒压驱动 2.5±0.125V |
| 满量程输出 | 44mV | 870mV |
| 输出电压 (110kPa时) | 79mV | 1600mV |
| 输出电压 (101.3kPa时) | (72.6mV) | (1474mV) |
| 补偿温度特性 | -4 ~ 6%FS | -4 ~ 6%FS |
| 灵敏度温度特性 | -4 ~ 4%FS | -4 ~ 4%FS |
| 电桥电阻 | 5 ~ 7kΩ | — |
| 输出阻抗 | — | 7 ~ 13kΩ |













