供应蓝宝石压力变送器

该产品的核心部件是用蓝宝石异质外延技术制成的硅－蓝宝石压力弹性敏感元件，采用钛¾蓝宝石双重膜片结构。蓝宝石衬底上用外延技术、光学刻蚀技术形成硅应变电阻电桥，蓝宝石－硅膜片与钛合金膜片采用高温微熔焊技术封接成一个整体。蓝宝石衬底的绝缘电阻极高，而且不随温度的变化而变化，其理论工作温度可以高达450℃；此外，蓝宝石绝缘性还有很强抗核辐射能力。敏感元件采用干法测量方式¾即没有隔离膜片及灌充介质，被测介质直接与钛合金膜片接触，整机为全焊接结构。