点击图片查看原图
DY-2000A型纳米通用图形发生器是纳米加工的重要装备。它可以配备到扫描电子显微镜(STM),聚焦离子束系统(FIB)和扫描探针显微镜(SPM)上，构建成纳米加工设备，进行纳米图形加工和纳米微结构制造。它适用于科研院所和高等院校的半导体，光电子，微机电系统(MEMS)实验室。
功能特点
与高分辨率SEM结合，可组成高分辨率专用电子束暴光机，用于小面积微纳米器件的研究。
与高电压透射电子显微镜结合，可组成高分辨率，高深宽比的电子束曝光系统，用于制作高深宽比微 纳结构。
与高分辨率SEM，激光控制精密工件台组合，可组成高分辨率通用电子束曝光机，它不仅可用于微纳米 器件的研究，而且还可以制作大面积掩模版和各类光栅
功能特点
与高分辨率SEM结合，可组成高分辨率专用电子束暴光机，用于小面积微纳米器件的研究。
与高电压透射电子显微镜结合，可组成高分辨率，高深宽比的电子束曝光系统，用于制作高深宽比微 纳结构。
与高分辨率SEM，激光控制精密工件台组合，可组成高分辨率通用电子束曝光机，它不仅可用于微纳米 器件的研究，而且还可以制作大面积掩模版和各类光栅
公司联系方式
- 北京中科奥纳科技有限公司 [加为商友]
- 联系人张超(先生) 市场销售
- 地区北京
- 地址北京市海淀区上地中关村发展大厦D308
