自1970年Aerotech开始研制最高性能的运动控制产品和精密定位系统,这些产品广泛应用于世界范围内的工业制造、政府及自然科学研究等行业。Aerotech能够为生命科学及医学设备,半导体加工,光子学,数据存储,激光应用,航空和国防,电子产品制造、测试及装配等行业的研究和发展,以及其他需要高精度、高自动化水平的解决方案提供满足市场应用苛刻要求的高性能精密运动控制产品。
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Aerotech承诺始终如一的提高我们的产品性能和服务能力的附加价值,我们的座右铭是:Dedicated to the Science of Motion。
ABRT超精密转台
1专为硅片检测,X射线衍射系统,光学检测及制造和纳米技术设备制造应用设计
2无刷无槽伺服电机直接驱动
3突出的速度稳定性,波动率低于万分之一(电机无接头效应)
4卓越的运动性能,误差小,无抖动
5直联高精度旋转编码器
6扁平结构设计
7无机械接触
台面直径100-200mm
分辨率0.027-0.055arcsec
双向重复定位精度<1arcsec
定位精度 <2 arc sec
异步轴跳 <20nm
异步径跳 <20nm
ARMS超精密模拟仿真转台
1. 为超高精度运动而设计。
2. 无刷力矩电机直接驱动,可选更高速度和力矩电机。
3. 突出的速度稳定性。
4. 卓越的运动性能,误差小,无抖动
5. 有效载荷达230 kg
6. 预装有集流环
台面直径:146~260mm
反馈分辨率:0.02~4 arc sec
双向重复定位精度 0.5 arc sec
定位精度 2.5 arc sec
速度波动率 0.0001%
ABRS超精密转台
ABRS气浮轴承精密运动转台拥有一个低矮的外形轮廓,并且能够提供出众的角度定位精度,卓越的速度稳定性以及极小的运动误差。ABRS精密转台的设计应用于硅片检测,高精度测量,激光衍射系统,光学检测和制造以及纳米制造技术。
特点:
1. 无刷无槽力矩电机直接驱动
2. 卓越的速度稳定性(无齿槽效应)
3. 极佳的运动性能,误差小,无抖动
4. 直连式高精度圆光栅反馈
5. 扁平结构设计
6. 气浮轴承,无机械接触
台面直径:128~278mm
反馈分辨率:0.036~0.18 arc sec
双向重复定位精度:<1arc sec
定位精度: 2 arc sec
异步轴跳: 20nm
异步径跳: 20nm
ADR系列精密转台
ADR系列直接驱动转台提供精确的角度定位和速度控制。应用范围包括高速激光加工和硅片精密检测。
特点:
1. 无刷力矩电机直接驱动
2. 无齿槽设计提供卓越的速度稳定性
3. 极佳的运动性能,误差小,无抖动
4. 直连式高精度圆光栅反馈
5. 高精度机械轴承支撑
6. 最大载荷可达150kg
台面直径:57~240mm
反馈分辨率:0.036~13 arc sec
双向重复定位精度: 1arc sec
定位精度: 2 arc sec
轴跳: 0.5um
径跳: 1um
ALAR直驱旋转平台1.5种不同的孔径尺寸:100mm,150mm,200mm,250mm,325mm
2.持续或有限的行程
3.300-1000lb的高轴向负载能力
4.宽大的轴承能提供较高的有效负载和瞬间负载能力
5.卓越的精度和重复定位精度
6.抖动和跳动小
7.无接头电机提供平滑运动
8.无回差效应
9.精度不随齿轮的磨损而改变
10.每分钟45-300转的持续转速
11.有效负载必须在旋转中心的应用的完美选择,AZ滚动万向架应用的重要选择
12.10-6torr真空环境选项可选
最大孔径325mm
精度±3.9arcsec
负载6463N
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