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| 白光干涉仪 型号:XAPR-PR-L05II | 货号: |
| 测量原理： 表面形状测量仪利用白光干涉原理，测量样品表面微细形状分布。PR-05 表面形状 测量仪由照明光源系统，光学成像系统，垂直扫描系统以及数据处理系统构成。照明光束 经半反半透分光镜分成两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。从这两个表面反射的 两束光再次通过分光镜后合成一束光，并由成像系统在 CCD 相机感光面形成两个叠加的像。 由于两束光相互干涉，在 CCD 相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差，所以根据白光干涉条纹明暗度就可以解析出被测样品的相对高度 产品技术特点： 1.测量光源为白光，光源普遍，并无污染。 2.直接采集白光干涉条纹包罗线信息，大大缩短数 据采样时间，同时增强采样系统的抗干扰能力 3.采用一种非等间隔采样算法，有效减少采样数据 量量，同时缩短采样时间，增强采样数据信噪比 4.在信号处理阶段，不仅利用干涉条纹的强弱信 息，还利用干涉条纹的位相信息，仪器的测量精 度以及稳定性得到很大程度的改善。 5.应用软件重视界面操作的便利性，人机界面采用 中文系统，窗口界面内容丰富，设置合理。并可 以根据用户的实际测量要求，满足窗口界面定制 需求。 6.该仪器的整体技术达到国际同类产品的先进水 平，填补了国内在这一领域的技术空白，打破了 国外公司对该技术领域的垄断，促进我国高精密 测量仪器的发展上了一个新的台阶。 产品使用特点： 1.非接触、非破坏测量 2.高速、高精度测量 3.高稳定性，适用于生产线的实时测量 4.可以测量倾斜分布表面结构。最大可以测量倾斜 角度为 45 度、大于 45 度的分布无法测 量， 但采用拟合方法进行补正。 5.多种测量功能，可以测量表面度非常差的样品表 面分布。例如，涂有荧光粉的等离子体 显示单 元的表面分布。 6.可以测量薄层玻璃表面下面特殊样品表面分布。 特殊是指光学系统能够检测到由样品表 面引起 的干涉信号。即使干涉信号的对比度很低，仍能 有效测出表面分布结构。 7.该表面轮廓测量仪，结构紧凑，抗振能力强，对 安装环境没有苛刻的要求 产品系统构成： 1.光学照明系统：采用卤素光源，其中心波长为 576 纳米，光谱范围从 340 纳米到 780 纳米。 2.光学成像系统：采用无限远光学成像系统，由显 微物镜和成像目镜组成。 3.垂直扫描控制系统：由压电陶瓷以及控制驱动器 构成，采用闭环反馈控制方法，可精密驱动显微 物镜上下移 动，移动范围 100-1000 微米。位 置移动精度为 0.1 纳米。 4.信号处理系统：信号处理系统是该仪器的核心部 分，由计算机和数字信号协处理器构成。利用计 算机采 集一系列原始图像数据。然后使用专用 的数字信号协处理器完成数据解析作业。 5.应用软件：应用软件主要由操作控制部分，结果 显示部分以及后处理部分组成。 主要用于操作控制表面形状测量仪器。同时，以 三维立体，二维平面以及断面分布曲线方式显示 实时测量结果。并可对测量结果作进一步的修正 处理 产品应用范围： 该仪器可广泛应用于：微机械电子系统（MEMS）领域、平面显示器制造业和半导体 集成器件研发和制造领域，检测样品表面三次元微细形状。 1.在 MEMS 领域，不仅用于检测具有平面结构的电子线路布局结构分布，更重要的是检 测具有立体分布的微型机械元器件、各种微型传感器和驱动器的位置分布信息和高度分布信息。 2.在平面显示器制造业，主要用于玻璃基底上的保护膜和氧化膜厚度的测量，以及彩色滤光板上的 BM 膜厚，RGB 保护膜厚，OC 膜厚，ETO 膜厚，PS 膜厚的测量。 3.在半导体集成器件研发和制造领域，主要用于硅片上各种集成半导体元器件的线宽、微 型焊接点和各种微细加工图形的三维尺寸。 4.在工业加工技术行业，该产品也可应用于金属加工表面、陶瓷加工表面以及其他相关表 面粗糙度的检测。 产品性能参数： 表面形状精密测量仪采用光学干涉技术，精密测量样品的表面形状分布、粗 糙度和平整度。测量重复精度最高可以达到 1 纳米。垂直扫描范围一般在 0-4 mm 范围，最 大可达 8 mm。样品的表面反射率大于 1%时都可以测量。测量面积不小于 185×140µm XAPR-PR-L05II技术参数： 垂直测量重复精度：<10nm 垂直扫描范围：0-4mm（可选配10mm） 扫描解析度：0.1nm 垂直扫描速度：标准为30µm/s CCD相机画数：640X480（可选配1280X1024） 平面测量精度：0.43µm（取决于所用显微物镜） 台阶测量重复性：≤2% @1σ 测量面积：≥185×140µm 样品表面反射率：≥1% 扫描方式：垂直精密扫描 测量原理：多色光光学干涉原理 显微物镜：50X（可提供2.5X，5X，10X，20X） 物镜固定架：单眼固定架（单眼固定架(可以选配 物镜旋转接口） 显微目镜：0.5X（可选配1.0X） 照明光源：卤素光源（可选配白色或绿色LED） 聚焦方式：全自动调节方式或辅助手动调节方式 辅助聚焦功能：手动聚焦方式（可提供计算机辅助聚焦功能） 计算机：高性能台式计算机，17英寸液晶显示屏 使用软件：本公司表面测量软件。 基本配置： 1.垂直扫描控制器 2.卤素光源 3.PR-L05II 本体 4.显示器 5.高性能个人计算机 |
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推动测试测量,检测诊断,传感物联,遥测自控智能化发展
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