白光干涉仪 型号:XAPR-PR-L05I | 货号: |
测量原理: 表面形状测量仪利用白光干涉原理,测量样品表面微细形状分布。PR-05 表面形状 测量仪由照明光源系统,光学成像系统,垂直扫描系统以及数据处理系统构成。照明光束 经半反半透分光镜分成两束光,分别投射到样品表面和参考镜表面。从这两个表面反射的 两束光再次通过分光镜后合成一束光,并由成像系统在 CCD 相机感光面形成两个叠加的像。 由于两束光相互干涉,在 CCD 相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差,所以根据白光干涉条纹明暗度就可以解析出被测样品的相对高度 产品技术特点: 1.测量光源为白光,光源普遍,并无污染。 2.直接采集白光干涉条纹包罗线信息,大大缩短数 据采样时间,同时增强采样系统的抗干扰能力 3.采用一种非等间隔采样算法,有效减少采样数据 量量,同时缩短采样时间,增强采样数据信噪比 4.在信号处理阶段,不仅利用干涉条纹的强弱信 息,还利用干涉条纹的位相信息,仪器的测量精 度以及稳定性得到很大程度的改善。 5.应用软件重视界面操作的便利性,人机界面采用 中文系统,窗口界面内容丰富,设置合理。并可 以根据用户的实际测量要求,满足窗口界面定制 需求。 6.该仪器的整体技术达到国际同类产品的先进水 平,填补了国内在这一领域的技术空白,打破了 国外公司对该技术领域的垄断,促进我国高精密 测量仪器的发展上了一个新的台阶。 产品使用特点: 1.非接触、非破坏测量 2.高速、高精度测量 3.高稳定性,适用于生产线的实时测量 4.可以测量倾斜分布表面结构。最大可以测量倾斜 角度为 45 度、大于 45 度的分布无法测 量, 但采用拟合方法进行补正。 5.多种测量功能,可以测量表面度非常差的样品表 面分布。例如,涂有荧光粉的等离子体 显示单 元的表面分布。 6.可以测量薄层玻璃表面下面特殊样品表面分布。 特殊是指光学系统能够检测到由样品表 面引起 的干涉信号。即使干涉信号的对比度很低,仍能 有效测出表面分布结构。 7.该表面轮廓测量仪,结构紧凑,抗振能力强,对 安装环境没有苛刻的要求 产品系统构成: 1.光学照明系统:采用卤素光源,其中心波长为 576 纳米,光谱范围从 340 纳米到 780 纳米。 2.光学成像系统:采用无限远光学成像系统,由显 微物镜和成像目镜组成。 3.垂直扫描控制系统:由压电陶瓷以及控制驱动器 构成,采用闭环反馈控制方法,可精密驱动显微 物镜上下移 动,移动范围 100-1000 微米。位 置移动精度为 0.1 纳米。 4.信号处理系统:信号处理系统是该仪器的核心部 分,由计算机和数字信号协处理器构成。利用计 算机采 集一系列原始图像数据。然后使用专用 的数字信号协处理器完成数据解析作业。 5.应用软件:应用软件主要由操作控制部分,结果 显示部分以及后处理部分组成。 主要用于操作控制表面形状测量仪器。同时,以 三维立体,二维平面以及断面分布曲线方式显示 实时测量结果。并可对测量结果作进一步的修正 处理 产品应用范围: 该仪器可广泛应用于:微机械电子系统(MEMS)领域、平面显示器制造业和半导体 集成器件研发和制造领域,检测样品表面三次元微细形状。 1.在 MEMS 领域,不仅用于检测具有平面结构的电子线路布局结构分布,更重要的是检 测具有立体分布的微型机械元器件、各种微型传感器和驱动器的位置分布信息和高度分布信息。 2.在平面显示器制造业,主要用于玻璃基底上的保护膜和氧化膜厚度的测量,以及彩色滤光板上的 BM 膜厚,RGB 保护膜厚,OC 膜厚,ETO 膜厚,PS 膜厚的测量。 3.在半导体集成器件研发和制造领域,主要用于硅片上各种集成半导体元器件的线宽、微 型焊接点和各种微细加工图形的三维尺寸。 4.在工业加工技术行业,该产品也可应用于金属加工表面、陶瓷加工表面以及其他相关表 面粗糙度的检测。 产品性能参数: 表面形状精密测量仪采用光学干涉技术,精密测量样品的表面形状分布、粗 糙度和平整度。测量重复精度最高可以达到 1 纳米。垂直扫描范围一般在 0-4 mm 范围,最 大可达 8 mm。样品的表面反射率大于 1%时都可以测量。测量面积不小于 185×140µm XAPR-PR-L05I技术参数: 垂直测量重复精度:<50nm 垂直扫描范围:0-4mm(可选配10mm) 扫描解析度:0.1nm CCD相机画数:640X480(可选配1280X1024) 平面测量精度:0.43µm(取决于所用显微物镜) 台阶测量重复性:≤10% @1σ 测量面积:≥185×140µm 样品表面反射率:≥1% 扫描方式:垂直精密扫描 测量原理:多色光光学干涉原理 显微物镜:50X(可提供2.5X,5X,10X,20X) 物镜固定架:单眼固定架(单眼固定架(可以选配 物镜旋转接口) 显微目镜:0.5X(可选配1.0X) 照明光源:卤素光源(可选配白色或绿色LED) 聚焦方式:全自动调节方式或辅助手动调节方式 辅助聚焦功能:手动聚焦方式(可提供计算机辅助聚焦功能) 计算机:高性能台式计算机,17英寸液晶显示屏 使用软件:本公司表面测量软件。 基本配置: 1.垂直扫描控制器 2.卤素光源 3.PR-L05I 本体 4.显示器 5.高性能个人计算机 |
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