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WS-1000湿法设备
l 全白色聚丙烯构造
l 可内置任何Laurell公司的旋涂机
l 排放简便的入氮口和DI喷头
l 如果需要更小尺寸——有微型的供选择
一般信息
Laurell公司的WS-1000系列旋转处理湿法设备可以被配置成测试模块构造，安装简便，易于拆卸，更便于操作者控制。典型的WS-1000处理过程包括（但不限于）：
l 涂敷
l 蚀刻
l 开发-水/溶剂
l 清洗-水/溶剂
l 确认，硫酸/双氧水（原样混合）
l 确认，HBr
l 温控开发
l 冲洗/烘干
特点：
全聚丙烯构造（见下文的自灭火功能）
可兼容安装任何Laurell 旋涂机
有排孔的湿隔层（易于拆除）
潮湿的空间
标准规格的排气空间
被热水器，水泵，容器等隔离的组件/容器
选项：
l 排气联锁控制处理器（一些型号是标准的）
l 加热和原材料搅拌
l 抵抗力冲洗
l 排水转向装置
l 真空负荷棒
l 晶片盒座
l 检漏
l 轻塔
可以根据要求采用更高级的材料
更好的
WS-1000-CP5 符合SEMI S93标准应用在消防安全和洁净空间等领域。CP5符合UL94 V-O 火灾分类标准。它具有优良的平衡的物理性能，耐化学药品性和耐火性。
最佳的
WS-1000-CP7-D的材料阻燃特性符合最严格的FMRC 4910测试标准，满足多方面条件下的难燃性，自熄特点和彻底燃烧。这种先进的材料也达到或超过产生低烟和最小毒副产品的检测标准。
公司联系方式
- 武汉迈可诺科技有限公司 [加为商友]
- 联系人邓华中(先生) 部门经理
- 地区湖北-武汉市
- 地址中国武汉武珞路628号亚洲贸易广场B座0848室（430070）
