| 技术参数 |
测试元素的含量或镀层的厚度，可分析的元素范围从原子序数16位（S）至92位（U）
进行元素成分分析时,仪器可同步分析25种不同元素的含量
可同时分析5种镀层（基材及4种镀层）/15种元素/含常规元素的修正功能
由ISO3497， ASTM B568和DIN 50987所认证的进行镀层厚度测试的方法
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| 主要特点 |
测试元素的含量或镀层的厚度，可分析的元素范围从原子序数16位（S）至92位（U）
进行元素成分分析时,仪器可同步分析25种不同元素的含量
可同时分析5种镀层（基材及4种镀层）/15种元素/含常规元素的修正功能
由ISO3497， ASTM B568和DIN 50987所认证的进行镀层厚度测试的方法
专业设计的Rohs分析界面，检测结果一目了然
强大的数据传输功能 (选件)
扫描分析及映射成像功能 (选件)
程控台 (选件)
可变聚焦距离
超大样品仓
PC与机器的一体化设计
用户操作界面包含9种语言
使用方便
数据的可信度更高
3 sigma的区间更小 (99% 的置信区域)
100W: 40 +/- 1.2 ppm
50W: 40 +/- 1.8 ppm
数据重复性更好，达到更好的 GR&R
仪器可被应用于更为严格的质量控制需求
半导体硅探测器，加载数据脉冲处理器
PIN 阳极
高分辨率
分辨率可达250eV
珀耳帖原理，电制冷
无需液氮
500 µm 探测器厚度
可确保高能量信号的探测效率
12.5 µm Be 窗口
可确保低能量信号的检测效率
25mm2 探测器灵敏窗口
优于绝大多数的竞争对手
> 3000 峰背比
可提升针对轻元素的检测下限
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可测元素范围
S(16) to U(92).
可测镀层数量及包含元素种类
5层 (4 层镀层+基材)
进行元素成分分析时可同时分析最多25种不同元素的含量
X-ray 激发能量
100W (50kV and 2mA) 微聚焦钨靶
探测器
25mm2 PIN 电制冷探测器
滤波器/准直器
最多可包含5个初级滤波器和4个准直器(0.1, 0.2, 0.3, 1.27mm Ø)
数字脉冲处理器
4096 多道数据分析功能
自动数据处理，包括死时间修正
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