陶瓷传感器:干式陶瓷传感器可使过程压力直接作用于陶瓷膜片上,使测量膜片产生偏移,正常的压力使测量膜片产生偏移0.025mm,超压状态也只使膜片偏移0.1mm,此时测量膜片贴到了陶瓷支架上,避免了损坏;衬底电极和膜片电极可以检测出与压力成比例的电容变化,测量范围由陶瓷膜片的厚度来决定;抗过载能力强,具有与哈氏合金和钛材料相同的抗化学腐蚀能力,适用于真空空场合,可水平安装而不影响零点输出
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