产品简介: www.wuhe.com.cn
- 高达0.13µm的超高分辨率;
- 以含有宽幅波长的水银氙灯为光源,并提取五个波长使用的扫描型共聚焦显微镜;
- 根据试样观察、测定的需要,从五个波长中选择最合适的波长进行扫描,避免单色光照明受试样色彩影响导致分辨率降低;
- 能够透过膜层观察多层构造、彩色3维结构、内部构造图像;
- 进行高度测定、形状测定、粗糙度测定等等;
- 通过130万画素的RGB三种画面的合成,获得真实色高精细彩色画面。
技术参数:
波长 |
405nm(紫t)、436nm(蓝)、546nm(绿)、577nm(黄)、630nm(红) 五种波长可任意选择 | ||||
分辨率 |
0.13µm *1 | ||||
XY线宽测定 |
最小测量单位 |
0.001µm | |||
测量重复精度(3σ) |
0.02µm *2 | ||||
高度测定 |
最小测量单位 |
0.01µm | |||
测量重复精度(σ) |
0.03µm *3 | ||||
图像显示分辨率 |
1280(H)×1024(V)×8bit×RGB | ||||
形状测量 |
1280(H)×1024(V)×16bit | ||||
桢速 |
7.5Hz(高精密模式) 15 Hz(非共聚焦模式) | ||||
高速成像模式 |
110Hz (线网模式下) | ||||
高度测量范围 |
15mm | ||||
Z轴记数器位数 |
24位 | ||||
Z轴移动 |
75mm(手动测量) 15mm(电动测量) | ||||
X-Y台 |
6英寸手动(电动台可选) | ||||
放大倍数/视场/像素分辨率 |
物镜放大倍数 |
在20.1英寸显示器上放大倍数 |
视场 |
像素分辨率 | |
10× |
230× |
1420×1140µm |
1.1µm | ||
20× |
460× |
710×570µm |
0.55µm | ||
50× |
1150× |
284×228µm |
0.22µm | ||
100× |
2300× |
142×114µm |
0.11µm | ||
l 表面形状测定(平均段差测定、R测定、膜厚测定、角度测定)、表面粗糙度测定、线宽测定、形状测定、片段衔接功能、颜色分离、扩张子机能同时变换功能、焦点合成、自动2值化、自动对比度修正、自动水平修正、轮廓图、图像数据库、模块化功能。 l 多层观察、多层3D成像功能。 l 非破坏多层断面结构显示、测定。 l 高度、面积、体积、半径、直径、圆周长、比率测定等。 | |||||
功率 |
电源AC100V 50/60Hz、 6A(Max.) 可配AC220稳压电源 | ||||
尺寸 |
330(W)×474(D)×520(H)mm |
显微镜主体 | |||
180(W)×422(D)×410(H)mm |
控制器主体 | ||||
重量 |
大约30Kg |
显微镜主体 | |||
大约10Kg |
控制器主体 |
- 陕西午禾科技有限责任公司 [加为商友]
- 联系人牛建设(先生) 销售工程师
- 地区陕西-西安市
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