压电扫描台

主营产品包括压电陶瓷材料、压电陶瓷片、叠堆压电陶瓷、精密压电促动器、压电马达、压电直线电机、纳米定位台、压电纳米定位台、微米纳米定位台、压电平移台、压电运动台、压电位移台、压电平移台、1-3维纳米精度偏转台/旋转台、压电偏转镜、压电物镜定位器、六自由度并联机构、压电陶瓷驱动电源、压电陶瓷驱动器、压电陶瓷驱动电源、电感/电容/激光测微仪等产品，同时提供压电点胶阀维修服务等。

     压电扫描台中心具有通孔，台体集成高精度传感器，采用柔性铰链设计、无机械摩擦、分辨率高。产品主要应用于透光精密光学器件的定位，生物显微与显微成像系统。压电扫描台包括一维、二维、三维三种运动形式，最大运动范围可达370μm。

 P-78压电扫描台，采用一体式设计，柔性铰链机构， XYZ三维运动无耦合，无机械摩擦，响应速度快，满足不同应用的需求。

特点：

1-3维运动

最大运动范围370μm

一体式结构设计，多维运动无耦合

最大透光孔径35mm

闭环精度可达0.15%F.S.

应用：

原子力显微镜•高分辨率CCD•三维共焦显微•激光平面干涉•纳米光刻•红外热成像扫描•光纤对接•纳米光刻