抗腐蚀的陶瓷压力传感器没有液体的传递,
压力直接作用在陶瓷膜片的前表
面,
使膜片产生微小的形变,
厚膜电阻印刷在陶瓷膜片的背面,
连接成一个惠斯
通电桥(闭桥),由于压敏电阻的压阻效应,使电桥产生一个与压力成正比的高
度线性、
与激励电压也成正比的电压信号,
标准的信号根据压力量程的不同标定
为
2.0 / 3.0 / 3.3 mV/V
等,可以和应变式传感器相兼容。通过激光标定,传感器
具有很高的温度稳定性和时间稳定性,传感器自带温度补偿
0
~
70
℃,并可以
和绝大多数介质直接接触。
陶瓷是一种公认的高弹性、抗腐蚀、抗磨损、抗冲击和振动的材料。陶瓷的
热稳定特性及它的厚膜电阻可以使它的工作温度范围高达
-40
~
135
℃,而且
具有测量的高精度、高稳定性。电气绝缘程度
>2kV
,输出信号强,长期稳定性
好。
高特性,
低价格的陶瓷传感器将是压力传感器的发展方向,
在欧美国家有全
面替代其它类型传感器的趋势,
在中国也越来越多的用户使用陶瓷传感器替代扩
散硅压力传感器。
3
、扩散硅压力传感器原理及应用
工作原理被测介质的压力直接作用于传感器的膜片上
(不锈钢或陶瓷)
,
使
膜片产生与介质压力成正比的微位移,
使传感器的电阻值发生变化,
和用电子线
路检测这一变化,并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信号。
4
、蓝宝石压力传感器原理与应用
利用应变电阻式工作原理,采用硅
-
蓝宝石作为半导体敏感元件,具有无与
伦比的计量特性
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