●采用双重闭环运动控制,电机在高速运动时具有精确的定位性能。 ●采用本公司开发的嵌入式模块控制电机,提高了电机响应速度,还简化了仪器与PC机的接口,PC机与仪器USB线与S端子线连接。 ●采用花岗岩平台,外观简洁大方。 ●表面光由独立24组光源组成,每一组均为恒流源驱动,200极连绩可调 ●配有我公司专用M2D-CNC软件,大大提高测量效率。 技术参数 工作台 金属台尺寸(mm) 450*280 玻璃台尺寸(mm) 306*196 运动行程(mm) 250×150 Z轴升降行程(mm) 150(调焦) X、Y、Z轴数显分辨率 0.0005mm X、Y坐标示值误差(μm): ≤(3+L/75) 电机 三轴运动速度 100mm/s 三维定位精度 0.001mm 影像系统 摄影机( 日本原装 ) 双焦物镜倍率: 0.7~4.5× 视频总倍率: 30~190x 物方视场: 10.6~1.6mm 双焦物镜倍率:0.7~4.5X 视频总倍率:30~190X |
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