雷尼绍ML10 Gold 激光干涉仪
拥有ML10 Gold,就拥有了真正的精度新近推出的ML10 Gold 激光干涉仪建立了一个全新的系统精度基准,它可提供线性测量精度为± 0 . 7μ m / m 和分辨率为 0 . 001μ m 的超精度测量和校准能力。
保证真正的测量质量、性能稳定并适用于多种环境,是雷尼绍心之所系。因此在所有测量中,雷尼绍都采用激光干涉原理,包括线性、角度和直线度的测量。国际上采用光线的波长为长度标准,因此ML10 Gold使用干涉原理所提供的测量可以直接与该标准溯源。
雷尼绍使用分离的干涉镜,而不与激光头安装在一起。而那种使用电子靶(而不是干涉镜)测量俯仰、扭摆和直线度误差的方式,虽然表面上看起来很吸引人,但代价是不能用激光波长来溯源,因此影响了测量精度和稳定性。另外,大多数激光测量的最大不确定性来自于与标准条件不同的
多变环境(气温、气压、湿度)。典型的情况下,这些变化可引起 20μ m / m 的不确定度。
为克服这一缺点,雷尼绍很重视激光源的稳定性和环境误差补偿。ML10 Gold的激光稳频精度达到。±0 . 05μ m / m同时使用非常精确的环境补偿传感器来采集数据,通过EC10环境补偿单元对“原始”测量结果进行修正。
传感器和补偿结果都是非常精确的,并可在整个系统的工作范围内始终保持这样的精确性。
雷尼绍激光干涉仪系统精度的置信度为95%(K=2)并包括制造公差和操作误差。拥有雷尼绍,就拥有了这里所述的系统精度;拥有雷尼绍,就拥有了真正的精度。
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