D07-60A气体质量流量控制器
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产品简介
D07-60A型 质量流量控制器 ★高精度、重复性好、快响应型 、超大流量型 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★国际标准机械接头用途: 质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等业。
技术参数
标准:
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为:
标准温度………………0℃(273.15K)
标准压强………………101325Pa
输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA;-15V,400mA
输入设定电压…………0~+5.00V
输出电压检测…………0~+5.00V
技术性能指标
满量程流量范围(N2) |
300SLM~2000SLM |
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控制范围 |
2~100%F.S. |
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阀类型(及阀初始状态) |
先导阀 |
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准确度 |
±2%F.S. |
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线性 |
±(0.5~2)%F.S. |
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重复精度 |
±0.2%F.S. |
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响应时间 |
≤20sec |
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工作温度范围 |
5~45℃ |
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工作压差范围 |
(0.2~0.5)Mpa (≤1000SLM) |
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(0.3~0.5)Mpa (>1000SLM) |
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耐压 |
3MPa |
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漏气率 |
1×10-8SCCSHe |
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密封材料 |
氟橡胶、氯丁橡胶 |
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接头选择 |
法兰 |
根据用户要求设计 |
Swagelok |
1/2””或φ10mm |
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电插头形式 |
DB15 pin(Male) |
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重量 |
6Kg |
- 北京宏昌信科技有限公司
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