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CS200-C型 数字式气体质量流量控制器
CS200-C型 数字式气体质量流量控制器
一、概述：
高质量金属表面产品，高精度，多气体多量程，自动调零，量程2sccm-30slm，表面处理：表面粗糙度16Ra或10Ra；电抛光Cr/Fe ratio >2.0；钝化CrO thickness >20 Angstroms，全金属密封，通讯方式：模
CS200-C型 数字式气体质量流量控制器
二、详细说明：
CS200-C型 数字式气体质量流量控制器
商品简介
高质量金属表面产品，高精度，多气体多量程，自动调零，量程2sccm-30slm，表面处理：表面粗糙度16Ra或10Ra；电抛光Cr/Fe ratio >2.0；钝化CrO thickness >20 Angstroms，全金属密封，通讯方式：模拟0-5V、模拟0-10V、数字485、DeviceNet
CS200-C型 数字式气体质量流量控制器
详细参数
产品技术指标
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产品型号 |
CS200-C |
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量程(N2) |
( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM |
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( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM |
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精度 |
±1.0% S.P. (≥35% F.S.) |
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±0.35% F.S.(＜35% F.S.) |
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重复精度 |
±0.2% FS |
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线性 |
±0.5% FS |
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响应时间 |
≤0.8 sec (SEMI E17-0600) |
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阀类型 |
Normally Closed or Normally Open |
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温度系数 |
Zero ≤±0.02% F.S./℃；Span: ≤±0.05% F.S./℃ |
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零点漂移指标 |
＜0.6%F.S. per year without autozero |
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表面粗糙度 |
10 µinch |
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工作环境温度 |
（0～50）℃ |
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数字信号接口 |
Digital: RS485 |
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模拟流量输出信号 |
0-5V和4-20mA |
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模拟流量控制信号 |
0-5V和4-20mA |
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电源要求 |
±11 ~ ±16 VDC or +11 ~ +28 VDC(400mA) |
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电连接器 |
D sub 9 pins male，D sub 15 pins male，DeviceNetTM male |
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工作压差范围 |
(0.05～0.35) Mpa（≤10slm） |
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最大耐压 |
3MPa |
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漏率 |
1×10-10 atm·cc / sec He（1×10-11 Pa·m3 / sec He） |
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密封材料 |
Metal,Stainless Steel VV, 5Ra |
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表面化学成分 |
Cr/Fe ratio >2.0; CrO thickness >20 |
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接头尺寸 |
VCR1/4” M |
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重量 |
1.2kg |
- 北京宏昌信科技有限公司 [加为商友]
- 联系人邓雪(女士) 市场销售
- 地区北京
- 地址北京市东城区安定门外湖景苑恒通伟业大厦306室
