振动传感器 高频振动位移传感器 位移传感器 振动测量
描述
振动传感器即利用光学普遍的折射、反射效应,以传感器的激光束作为发射光源,对振动着的被测体进行点测、线测(二维测量)或三维测量(轮廓测量),同时把收集的测量数据经过内置软件的一系列算法处理,得出被测体振动的相关参数的方法。
振动传感器测振的意义
振动传感器测振与人类的生产生活是息息相关的,目前在材料探伤、机械系统的故障诊断、噪声消除、结构件的动态特性分析及振动的有限元计算结果验证等方面广泛应用。此项测量技术方法促使人类的生产生活质量向着更好更完善的方向发展,随着振动传感器测量技术的成熟与完善,高精度、高效率、低成本的测量方案必将实现并走向成熟。
ZLDS/N-100是一款非接触式高精度高频振动传感器,具有100微米的量程和15纳米的分辨率。振动传感器的起始测量距离是3mm,对于被测体有较宽的适用范围,比如金属,半导体和玻璃。该振动传感器可以很容易与现有设计相接合,而且具有较大的基准距,振动传感器可以相当于一个高分辨率的电容传感器。对于定点测量,振动测量,表面轮廓测量,ZLDS/N-100振动传感器都是一款理想的测量工具。
振动传感器应用领域
应用于光盘、硬盘的在线检测,还可以应用于电机等强磁场测振和表面轮廓测量。
振动传感器主要特点
高分辨率,可替代电容式传感器;
对电磁场不敏感,可用于电机等强磁场测振;
宽频带,可测高频振动体;
对被测体表面要求低,反射率4~100%均可用;
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技术规格:
技术参数 |
ZLDS/N-100 |
量程μm |
100 |
分辨率nm |
15 |
线性度μm |
±5 |
重复性nm |
±75 |
信号接收范围μm |
±400 |
带宽KHz |
100 |
允许表面反射度% |
4~100 |
传感器探头基准距mm |
3.0 |
垂直容忍度 |
±0.1° |
供电 |
±12VDC @80mA |
传感器体长mm |
58.7 |
测量点直径μm |
100 |
控制器尺寸mm |
98x32x13 |
电缆长度mm |
460 |
◆技术规格可按客户要求定制。
◆我们保留规格变化而不另行通知的权利。
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