纳米级位移传感器
描述
ZLDS/N-100是一款非接触式高精度纳米级位移传感器,对于定点测量,振动测量,表面轮廓测量,ZLDS/N-100纳米级位移传感器都是一款理想的测量工具。
ZLDS/N-100具有100微米的量程和15纳米的分辨率。纳米级位移传感器的起始测量距离是3mm,对于被测体有较宽的适用范围,比如金属,半导体和玻璃。该传感器可以很容易与现有设计相接合,而且具有较大的基准距,纳米级位移传感器可以相当于一个高分辨率的电容传感器。
纳米级位移传感器应用领域
应用于光盘、硬盘的在线检测,还可以应用于电机等强磁场测振和表面轮廓测量。
纳米级位移传感器主要特点
高分辨率,可替代电容式传感器;
对电磁场不敏感,可用于电机等强磁场测振;
宽频带,可测高频振动体;
对被测体表面要求低,反射率4~100%均可用;
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技术规格:
技术参数 |
ZLDS/N-100 |
量程μm |
100 |
分辨率nm |
15 |
线性度μm |
±5 |
重复性nm |
±75 |
信号接收范围μm |
±400 |
带宽KHz |
100 |
允许表面反射度% |
4~100 |
传感器探头基准距mm |
3.0 |
垂直容忍度 |
±0.1° |
供电 |
±12VDC @80mA |
传感器体长mm |
58.7 |
测量点直径μm |
100 |
控制器尺寸mm |
98x32x13 |
电缆长度mm |
460 |
◆技术规格可按客户要求定制。
◆我们保留规格变化而不另行通知的权利。
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