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在线薄膜测厚仪
应用背景
当今微电子薄膜，光学薄膜，抗氧化薄膜，巨磁电阻薄膜，高温超导薄膜等在工业生产和人类生活中的不断应用，在工业生产的薄膜，其厚度是一个非常重要的参数，直接关系到该薄膜材料能否正常工作。如大规模集成电路的生产工艺中的各种薄膜，由于电路集成程度的不断提高，薄膜厚度的任何微小变化，对集成电路的性能都会产生直接的影响。除此之外，薄膜材料的力学性能，透光性能，磁性能，热导率，表面结构等都与厚度有着密切的联系。
解决方案
采用ZM105激光测径仪检测：将薄膜套在标准轴上，通过测标准轴和套薄膜的标准轴的直径，间接检测薄膜的厚度。精度±2μm，如下图1：
图1：ZM105
图2：检测方法
应用领域
可用于物体尺寸的非接触测量与控制，如零件高度、边缘、直径、线径、宽度、间隙、内径、外径等。有效降低了生产后的单件检验成本，并能有效节省原物料的损耗，降低人员需求。
ZM105的主要特点
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高精度：最高线性度±2um； |
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量程范围广：可测500mm外径的物体（可根据实际情况定制更大外径型号）； |
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支持多个传感器同步采集（确保工业在线高精度差动测厚）； |
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可以对操作系统实施不同的参数设置，改变测量方式； |
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在PC上十分直观的显示出测量值，方便对测量过程实施监控； |
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ZM100系列产品采用半导体激光器发射的激光（波长660nm）作为探测信号，抗干扰能力强 |
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ZM105产品采用LED光源，测量精度高 |
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系统带有额外的四条输出信号，带负载能力强； |
欢迎有相关项目需求的客户来电垂询！
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深圳市真尚有科技有限公司
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