| 基本参数 |
| 测量参数 |
|Z|，|Y|，Q，Rp，Rs(ESR)，G，X，B，θ，Ls，Lp，Cs，Cp，D(tanδ) |
前置放大器
决定的测量量程 |
|
前置放大器 |
9700-01 |
9700-02 |
9700-03 |
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Z和R |
100mΩ～1kΩ |
500Ω～10kΩ |
5kΩ～100kΩ |
|
C |
1.33pF～15.9μF |
0.133pF～3.18nF |
0.1pF～318pF |
|
L |
1nH～1.59mH |
663nH～15.9mH |
6.63μH～159mH |
|
θ |
-180.00°～180.00° | |
| 测量频率 |
| 量程 |
100kHz～120MHz |
| 分辨率设置 |
4位（使用前控制板设置） |
| 100.0kHz～1.000MHz |
100Hz幅度 |
| 1.000MHz～10.00MHz |
1kHz幅度 |
| 10.00MHz～100.0MHz |
10kHz幅度 |
| 100.0MHz～120.0MHz |
100kHz幅度 |
| 使用GP-IB或RS-232C接口时，分辨率为1Hz。 |
| 精度 |
最大±0.005%，相对于设置值 | |
| 测量电平 |
开路接口电压（V）
和恒压（CV）模式 |
5mV～1V,最大20mA(10.000MHz以下)
5mV～500mV,最大10mA（10.01MHz以上） |
| 分辨率 |
1mV幅度 |
| 精度 |
±（5%+5mV）×(2+log f)(f为MHz数) |
| 恒流（CC）模式 |
200μA～20mA,最大1V（10.00MHz以下）
200μA～10mA | |
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