压力传感器

Silicon Microstructures, Inc. (SMI) 专业生产各种微结构压力传感器，产品广泛

用于汽车制造、医疗设备和工业生产。SMI不仅设计、生产各类微压传感器，并且提供集

成化传感器和基于 MEMS 的传感器系统代工服务。

作为高性能硅压力传感器和加速计的专业生产厂家，SMI 成立于1991年。起初公司专业

生产硅低压传感器，如今 SMI 已拥有众多系列的硅微结构传感器，为各类 OEM 客户提

供质优价廉的产品。

2001年4月该公司被专门生产汽车用 ASIC 的 Elmos 半导体公司收购。通过集成 Elmos

的 ASIC 技术和 SMI 的6 英寸晶圆生产工艺，推出高性能、系统化、低价位的新一代

完整片上系统微结构传感器。2002年8月 SMI 收购了 IC Sensors 的晶圆部，03年 SMI

设计出新型6英寸晶圆生产设备，该设备拥有先进的深度离子刻蚀 (DRIE) 和等离子焊接

能力。

主要产品:
1.压力传感器: SMI 主要生产超低压 (<10 mBar/0.15 PSI) 传感器，同时还提供超小

型、带数字校准的裸片。
2.加速计: 主要为高性能集成化和超小型结构。
3.MEMS: 专业生产各种微机电系统 (MEMS), 包括超小型导管传感器、应变传感器、湿

度传感器、加速计、定制压力传感器等等。
4.微型封装产品: SMI 开发出新型用于小输出线集成电路的封装产品，该封装可以使传

感器更易于安装在印刷电路板上。
5.信号处理和系统化组件: 提供各种信号处理模块 (包括传感器芯片组及集成芯片)。
6.定制化产品: SMI 还为特殊用途用户提供定制产品。
应用领域:
1.工业
■常规加温，通风、空调系统 (HVAC) 和 VAV 控制器
■I/P 和 P/I 转换器
2.汽车制造
■轮胎压力
■引擎控制
■气压测定
3.医疗设备
■呼吸器，通风机，氧气瓶, 制氧机
■风速计
■血压计
4.常规设备
■家用电器
■水下呼吸器和调节器
■高度计