B1500A 半导体器件分析仪

安捷伦B1500A分析仪主要特性与技术指标

一般特性

测量能力

安捷伦B1500A分析仪描述

总结

Agilent B1500A 半导体器件分析仪是一款具有 10 插槽配置的模块化仪器，可支持 IV 和 CV 测量及快速高电压脉冲测量。它采用常见的 Microsoft ® Windows ® 用户界面，可支持 Agilent EasyEXPERT 软件。该软件为器件表征提供更直观的、面向任务的新方法。Agilent B1500A 具有极佳的低电流、低电压和集成电容测量能力，因此可满足广泛的半导体器件表征需求（IC-CAP 支持 B1500A）。它还是一款用于非易失存储单元表征和高速器件表征（包括先进 NBTI 和 RTS 噪声（RTN）测量）的出色解决方案。

B1500A 目前具有 7 种模块。请参见本页底部的模块选型表。

安捷伦B1500A分析仪应用主题

现已提供有关太阳能电池表征的新应用指南和示例程序。请访问 “用于太阳能电池测试的精密 SMU 产品”页面。

模块信息

B1525A（HV-SPGU：高电压――半导体脉冲发生器单元）模块可提高闪存测试的吞吐量。 B1525A 演示网页提供在线演示视频。

B1530A（WGFMU：波形发生器和快速测量单元）模块可帮助您执行以前无法进行的关键脉冲测量。更多信息，请访问 B1530A 产品页面。

安捷伦B1500A分析仪相关链接

B1500A 提供各种脉冲解决方案。最新的安捷伦选型指南可帮助您选择最适合您应用的解决方案。更多信息，请访问安捷伦脉冲 IV 参数测试解决方案页面。安捷伦脉冲 IV 参数测试解决方案页面。
EasyEXPERT 和 Desktop EasyEXPERT 不但可以帮助您提高测量效率，而且还可提供易于使用的测试环境。更多信息，请访问 EasyEXPERT 页面。 EasyEXPERT 页面。

安捷伦低泄漏开关矩阵系列能够灵活地生成自动化测量解决方案，而不会影响测量性能。更多信息，请访问开关矩阵系列页面。开关矩阵系列页面。

安捷伦B1500A分析仪特性和优势

优异的 IV 测量性能：0.1 fA / 0.5 µV 测量分辨率
- 测量特性包括单通道和多通道扫描、时间采样、列表扫描、准静态 CV（使用 SMU）、直接控制和针对 HV-SPGU 的任意线性波形生成（ALWG）GUI。可选的集成电容模块支持高达 5 MHz 的 CV 测量基于定位器的可选 CV-IV 开关解决方案提供 0.5 µV 的电压测量分辨率和 10 fA、1 fA 或 0.1 fA 的电流测量分辨率能力使用内置半自动晶圆探头驱动程序可轻松自动完成测试；在快速测试模式下，用户无需编程即可排列测试顺序可选的高电压半导体脉冲发生器单元（HV-SPGU）具有 10 ns 的可编程脉冲宽度和 +/- 40 V（80 V 峰峰值）输出可选的波形发生器/快速测量单元（WGFMU）提供 ALWG 和快速电流或电压测量能力 10 ns 脉冲 IV 解决方案，用于表征高 k 栅极电介质和 SOI（绝缘硅）晶体管典型测试模式可提供 4155/4156 界面的外观、风格和术语，同时通过充分利用 Microsoft ® Windows ® GUI 特性可加强用户交互

安捷伦B1500A分析仪模块选型指南

模块	所需插槽数	主要技术指标
B1510A HPSMU	2	高达 200 V、1 A，10 fA 电流分辨率
B1511A MPSMU	1	高达 100 V、100 mA，10 fA 电流分辨率
B1517A HRSMU	1	高达 100 V、100 mA，1 fA 电流分辨率
E5288A ASU	无	高达 100 V、100 mA，100 aA 当前分辨率
B1520A MFCMU	1	1 kHz 至 5 MHz，高达 100 V 直流偏置，具有 SMU
B1525A HV-SPGU	1	最小 25 ns 脉冲宽度，10 ns 跳变时间、高达 40 V 和 3 级脉冲
B1530A WGFMU	1	最小 50 ns 脉冲宽度、10 V 峰峰值输出、5 ns 电流或大于测量采样速率