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质量流量控制器
SEC-400 系列
(制造单位：HORIBA STEC有限公司)
概要
它是搭载有温控阀的基本型号。
利用小型装置的SEC-310，可以进行大于0.1SCCM的微小流量控制。并且，利用SEC-623可以进行小于200SLM的大流量控制。
高精度型号：SEC-405可以进行±0.5％F.S.的流量控制。
技术规格
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SEC-310 | |
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气体接触部材质 |
SUS-316、氟化橡胶 |
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阀门类型 |
NO: 非通电时：开； NC: 非通电时：关闭 |
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标准流量量程 |
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流量控制范围 |
2〜100％ F.S.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(满量程) |
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SEC-320 | |
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气体接触部材质 |
SUS-316、氟化橡胶 |
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阀门类型 |
NO: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
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流量控制范围 |
2〜100％ F.S.(满量程) |
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流量精度 |
±2.0％ F.S.(满量程) |
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SEC-405 | |
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气体接触部材质 |
SUS-316、氟化橡胶 |
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阀门类型 |
NO: 非通电时：开 |
公司联系方式
- 上海进申工贸有限公司 [加为商友]
- 联系人王先生(先生) 市场销售
- 地区上海
- 地址浦东新区浦建路725弄2号204室
