6320MB系列混合气体配比体配比柜

型号
MODEL
NUMBER

适用气体
GAS
SERVICE

配比范围
MIX
RANGE

配比精度
MIX
PRECISION
(%)

输出流量
OUTLET
FLOMWETER
(M³/h)

输入压力
INLET
PRESSURE
(MPa)

输出压力
OUTLET
PRESSURE
(MPa)

出气连接尺寸
OUTLET
CONNECTION

6320MB-1

氩气＋二氧化碳Ar＋CO₂

0-30%二氧化碳，其余氩气

±1.5

200

0.8-1

0.35-0.5

G1"

6320MB-2

氩气＋氧气Ar＋O₂

0-10%氧气，其余氩气

6320MB-3

氩气＋氮气Ar＋N₂

0-50%氩气，其余氮气

6320MB-4

二氧化碳＋氮气CO₂＋N₂

0-50%二氧化碳，其余氮气

6320MB-5

氩气＋氦气Ar＋He

0-10%氩气，其余氦气