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Aerotech ABL1500
1 专为高性能扫描和检测应用设计
2 分辨率达到nm以下的直线编码器反馈
3 全预加负载气浮导轨(空气轴承)
4 大负载 高刚性 几何特性极好
行程 ≤500 mm
精度 ±0.20 um
重复定位精度 ±0.10 um
直线度 ±0.25 um
平面度 ±0.25 um
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