全自动光刻机

原装进口MYCRO光刻机，包含NXQ8008， NXQ8006， NXQ8006 Sapphire，NXQ4004，NXQ4006，NXQ4008，Refurbished Mask Aligners七个型号，是全球领先的光刻系统，该系列光刻机广泛应用于半导体和微电子行业领域；NXQ光刻机主要是以全自动和半自动系统为主。

    其中，NXQ4000系列光刻机是半自动系统为主，NXQ8000系列光刻机则是全自动系统为主，而Refurbished Mask Aligners则是手动/自动系统。以下是关于NXQ8000系列光刻机的介绍:

应用领域：
◆ LED
◆ MEMS
◆ IC
◆ Mircro-optics

主要特点：

◆ 接近/软（硬）接触/真空接触曝光；
◆ 支持2”~8”晶圆，支持碎片对准；
◆ 自动/手动运行模式；
◆ 光学背面对准系统（OBS）；
◆ 红外背面对准系统（IR）；
◆ 高精度光学式或CCD式正面对准系统；
◆ 自动对准识别系统（使用任意标记）；
◆ 工艺操作程序网络化设置与管理；
◆ 自动预对准（用于晶圆自动装载型）；
◆ 快速方便地更换适用不同尺寸的晶圆夹具（2”~8”）；
◆ XP 操作界面;
◆ 支持200W ~ 2kW, NUV，UV or DUV;
◆ 高灵敏度光强可控电源。

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