多功能真空试验仪

HZDH2010多功能真空试验仪

      HZDH2010多功能真空实验仪（设计性、综合性实验）是一个真空实验平台，能够很直观反映真空获得的全过程。由真空获得部分、真空镀膜机构和电控及仪表等部分组成，结构合理，运行安全可靠，适合于对学生开展真空实验教学。

本产品已获得国家实用新型专利：ZL 2007 2 0107661.X

在2008年第五届全国高等学校物理实验教学研讨会物理仪器评比中荣获三等奖。

可开设的实验

1、真空的获得与测量；2、蒸发法薄膜制备

主要技术特点

1、设备的真空反应室、油扩散泵、真空管路部件全透明；

2、电气控制有安全防护，防止误操作对操作人员和设备造成的损伤；

3、管路采用不锈钢、真空橡胶管结合，阀门为电控双向截止阀；真空室内有烘烤除气装置；

4、一机多用的功能，针对高校开展综合性、设计性和开放性实验的要求,预留有大空间的真空室，在配置一些组件后，就能方便开设其他扩展实验项目。

主要技术参数

1、Ф230×255mm玻璃真空室；

2、采用机械泵、四级玻璃质油扩散泵两级真空系统，扩散泵油量125~140ml，需水冷；

3、真空度：开机60分钟后可达5×10^-3Pa，极限真空度：9.6×10^-4Pa；恢复真空时间＜40分钟；

4、采用一对无氧铜电极蒸发电极，电极间距70mm，可选用钨丝或钼舟作蒸发源，蒸发电流调节范围： 0～150A；

5、衬底可加热，衬底加热温度范围：室温～200℃；

6、工作电压：AC220V±5%，50Hz；整机功率：3kW；

7、工作环境要求：温度低于30℃，湿度≤70％；水循环用户自备。