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1.主要适用于实验、科研、医学及小规模的生产领域。
2.特点：成本低，整机机械、电气结构简单、实用，易维护。
3.控制方式：手动或自动控制模式，利用各简单元器件的巧妙
组合成自动控制体系，各参数调整好后，一键完成整个清洗工艺。
4.电源功率、清洗时间、气体流量、净化真空度等参数可设置。
5.射频电源手动匹配（自主研发的全固态晶体管输出型）
6.浮子精密气体流量计、针阀等控制工艺气体流量。
7.清洗完成有提示音
8.反射功率过大报警
9.工艺气体耗尽报警
10.泵热过载报警
11.反应仓泄漏报警
12.电极采用高通量等离子结构，牢固可靠易拆卸。
13.反应仓为矩形不锈钢腔体，水平电极板放置，间距可调。
14.真空泵采用双腔式旋片泵，极限真空度可达2Pa以下，一般采用外置。
15.真空泵可选配液位低报警装置
2.特点：成本低，整机机械、电气结构简单、实用，易维护。
3.控制方式：手动或自动控制模式，利用各简单元器件的巧妙
组合成自动控制体系，各参数调整好后，一键完成整个清洗工艺。
4.电源功率、清洗时间、气体流量、净化真空度等参数可设置。
5.射频电源手动匹配（自主研发的全固态晶体管输出型）
6.浮子精密气体流量计、针阀等控制工艺气体流量。
7.清洗完成有提示音
8.反射功率过大报警
9.工艺气体耗尽报警
10.泵热过载报警
11.反应仓泄漏报警
12.电极采用高通量等离子结构，牢固可靠易拆卸。
13.反应仓为矩形不锈钢腔体，水平电极板放置，间距可调。
14.真空泵采用双腔式旋片泵，极限真空度可达2Pa以下，一般采用外置。
15.真空泵可选配液位低报警装置
小型等离子清洗机主要技术数据及规格
|
标准型号 技术配置 |
QT-12-PSP- |
QT-24-PSP |
QT-36-PSP |
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外形尺寸 |
W700mm×H900mm×D600mm |
W700mm×H900mm×D600mm |
W700mm×H900mm×D650mm |
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反应仓 |
W250mm×H |
W |
W |
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真空腔体材质 |
不锈钢加铝内衬 | ||
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电极板有效面积 |
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电源功率 |
0～300W |
0～300W |
0～600W |
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电源频率 |
13.56MHz |
13.56MHz |
13.56MHz/40kHz |
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洁净真空度 |
15Pa |
15 Pa |
1 0Pa |
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控制系统 |
半自动控制/全自动控制，继电器加定时器控制体系 | ||
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单次处理时间 |
8-15分钟 | ||
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气体控制 |
2路精密气体流量计+针阀+高抛光不锈钢管路 | ||
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流量精度 |
+2sccm | ||
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工作压强 |
10-90Pa | ||
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真空泵系统 |
德国/国产 |
德国/国产 |
德国/日本/国产 |
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参数控制 |
处理时间、射频功率、气体流量可调 | ||
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所需环境配置 | |||
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供电环境 |
AC220V/50Hz | ||
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供气管路 |
0.2至0.6MPa，管径φ6 | ||
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环境 |
最高35℃良好换气通风 | ||
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湿度 |
30%～85% | ||
公司联系方式
- 东莞市启天自动化设备有限公司 [加为商友]
- 联系人谢扬志(先生) 市场销售
- 地区广东-东莞市
- 地址东莞市樟木头南城大道新时代广场雍景阁16-20栋
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